banner banner banner

Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций – Сергей Курочка

Оценить:
Рейтинг: 0
Описание книги:

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и специфические, связанные с применением возникающих факторов при взаимодействии ускоренных ионов с твердым телом. Особое внимание уделено использованию возникающего ионно-индуцированного тока в многослойных наноразмерных гетероструктурах и вторичной ионно-электронной эмиссии при ионном воздействии на материалы.

Информация о книге:

  • Автор:
  • Название: Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
  • Жанр: Техническая литература
  • Язык книги: русский
  • Издательство: НИТУ «МИСиС» Литагент

Полная версия:

Поделиться:

Комментарии к книге и рекомендации пользователей:

Вместе с этим произведением обычно скачивают книги:

О скачивании, разархивировании, чтении книг можно прочитать здесь.
Новинки!
Все новинки
В этот день...
24 декабря 1901 года родился Александр Фадеев (настоящая фамилия Булыга) (ушел из жизни в 1956г.), прозаик, критик, теоретик литературоведения, общественный деятель, покончил с собой.
Новый отзыв
скачать книгу 'Когда-нибудь и я взмахну крылом'
limo7:
книга отличная!...
Новая подборка книг
В тренде
Детство. Время открытий. Время удивляться всему в мире. Радоваться, грустить, искать себя...