Лабораторный практикум выполняется по курсу «Вакуумная и плазменная электроника». В нем рассматриваются основы физики газового электрического разряда, условия ускорения заряженных...
Лабораторный практикум выполняется по курсу «Вакуумная техника». В нем рассматриваются методики определения параметров работы форвакуумных насосов, их устройство и режимы их эксплу...
Курс лекций содержит необходимый для изучения раздела «Основы метрологии в электронике» материал, а также примеры решения задач метрологии и справочные данные.
В результате анализа условий проявления квантово-размерных эффектов, возникающих в многослойных тонкопленочных структурах, уточнены требования к технологическим процессам формирова...
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для пол...
В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-пла...