banner banner banner

Фотонно-стимулированные технологические процессы микро– и нанотехнологии – Игорь Житяев

Оценить:
Рейтинг: 0
Описание книги:

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.
Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».

Информация о книге:

  • Язык книги: русский
  • Издательство: Южный Федеральный Университет литагент
  • ISBN: 9785927523955
Отрывок: скачать бесплатно TXT FB2 RTF ePUB PDF

Скачать книгу Фотонно-стимулированные технологические процессы микро– и нанотехнологии в fb2, epub, txt (14 форматов) в нашем Интернет-магазине.

Полная версия:

Читать онлайн:

Поделиться:

Комментарии к книге и рекомендации пользователей:

Вместе с этим произведением обычно скачивают книги:

О скачивании, разархивировании, чтении книг можно прочитать здесь.
В этот день...
24 декабря 1910 года родился Фриц Лейбер (Firtz Reuter Leiber, Jr.) (умер в 1992г), американский писатель-фантаст.
Новый отзыв
скачать книгу 'Когда-нибудь и я взмахну крылом'
limo7:
книга отличная!...
Новая подборка книг
В тренде
Детство. Время открытий. Время удивляться всему в мире. Радоваться, грустить, искать себя...