Физические основы кремниевой наноэлектроники (Геннадий Иванович Зебрев)

Физические основы кремниевой наноэлектроники (Геннадий Иванович Зебрев)
Автор: Геннадий Иванович Зебрев
Жанр: учебная и научная литератураучебники и пособия для вузовестественные наукифизикаэлектроникананотехнологиинаноматериалынаноэлектроникамикроэлектрониказнания и навыки
Язык: Русский
Размер: 385662 Кб
ISBN: 978-5-00101-830-8
Полная версия:
Описание аудиокниги:
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».