Технология интегральных микросхем (Виталий Иванович Смирнов)
Технология интегральных микросхем
Технология интегральных микросхем (Виталий Иванович Смирнов)
Автор: Виталий Иванович Смирнов
Жанр: учебники и пособия для вузовфизикаэлектроникатехнологические процессынаноэлектроникамикроэлектроникатехническая физикамикросхемы
Язык: Русский
Размер: Неизвестно
ISBN: 978-5-9729-1232-2
Бесплатный фрагмент:
Полная версия:
Описание книги:
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».
