Технологические процессы в микро- и наноэлектронике (Юрий Анатольевич Родионов)

Технологические процессы в микро- и наноэлектронике (Юрий Анатольевич Родионов)
Автор: Юрий Анатольевич Родионов
Жанр: учебная и научная литератураучебники и пособия для вузовэлектроникананотехнологиитехнологические процессынаноэлектроникамикроэлектрониказнания и навыки
Язык: Русский
Размер: 385662 Кб
ISBN: 978-5-9729-2209-3
Полная версия:
Описание аудиокниги:
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.