Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники (Светлана Аркадьевна Козубняк)
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники (Светлана Аркадьевна Козубняк)
Автор: Светлана Аркадьевна Козубняк
Жанр: учебная и научная литератураучебники и пособия для вузовтехнические наукиприборостроениеэлектроникаучебное пособие для студентовнанотехнологииконструирование оборудованиямикроэлектроникамикромеханиказнания и навыкимикросистемная техника
Язык: Русский
Размер: 385662 Кб
ISBN: 978-5-7038-3729-0
Полная версия:
Описание аудиокниги:
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
