Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов (Ю. А. Родионов)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов (Ю. А. Родионов)
Автор: Ю. А. Родионов
Жанр: учебная и научная литератураучебники и пособия для вузовхимияобщая химияфизическая химияэлектроникананоэлектрониказнания и навыки
Тэги: наноэлектроника
Язык: Русский
Размер: 385662 Кб
Полная версия:
Описание книги:
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».