Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий (Дмитрий Григорьевич Крутогин)

Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий (Дмитрий Григорьевич Крутогин)
Автор: Дмитрий Григорьевич Крутогин
Жанр: учебная и научная литератураучебно-методические пособиятехнические наукизнания и навыкивысокие технологии
Язык: Русский
Размер: 385662 Кб
Полная версия:
Описание аудиокниги:
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».