Основы технологии электронной компонентной базы (Евгений Эдуардович Бодров)
Основы технологии электронной компонентной базы (Евгений Эдуардович Бодров)
Автор: Евгений Эдуардович Бодров
Жанр: учебная и научная литературатехническая литератураучебники и пособия для вузовэлектрониказнания и навыки
Язык: Русский
Размер: 385662 Кб
ISBN: 978-5-9729-3087-6
Полная версия:
Описание книги:
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
