banner banner banner
Серия: Без серии
01-03-2018
Текст
(0 из 5) [ оценок]
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании леги...
01-03-2018
Текст
(0 из 5) [ оценок]
В методических указаниях рассматриваются принципы расчета режимов ионной имплантации при формировании структур n+–p–p+(p+–n–n+)-типа и профилей распределения имплантированной приме...
01-03-2018
Текст
(0 из 5) [ оценок]
Содержит описание трех практических занятий, в которых изучаются такие процессы создания приборных структур наноэлектроники, как термическое окисление, диффузия и ионная имплантаци...