Физические основы вакуумной техники (Александр Иванович Василевский)
Физические основы вакуумной техники (Александр Иванович Василевский)
Язык: Русский
Размер: 385662 Кб
ISBN: 978-5-7782-2424-7
Полная версия:
Описание аудиокниги:
Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.
