Лазеры в микро- и наноэлектронике (Александр Викторович Палий)

Лазеры в микро- и наноэлектронике (Александр Викторович Палий)
Автор: Александр Викторович Палий
Жанр: учебная и научная литератураучебники и пособия для вузовтехнические наукиприборостроениеэлектроникаоптоэлектроникананоэлектроникаэлектронные компонентымикроэлектроникалазерные технологиизнания и навыки
Язык: Русский
Размер: 385662 Кб
ISBN: 978-5-9275-3083-0
Полная версия:
Описание аудиокниги:
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.