Механизмы прецизионных перемещений (А. М. Базиненков)

Механизмы прецизионных перемещений (А. М. Базиненков)
Автор: А. М. Базиненков
Жанр: учебная и научная литературатехническая литератураучебники и пособия для вузовестественные наукитехнические наукифизикафизика твердого телазнания и навыкифизические процессыприкладная физика
Язык: Русский
Размер: 385662 Кб
ISBN: 978-5-7038-5529-4
Полная версия:
Описание книги:
Приведены методы анализа, выбора и расчета прецизионных механизмов микро- и наноперемещений с учетом их функционального назначения и заданных параметров движения исполнительных механизмов оборудования для микро- и нанотехнологий. Рассмотрены методы вибрационной защиты прецизионного оборудования, принципы разработки динамических моделей и алгоритм процесса управления прецизионными механизмами перемещений для обеспечения требуемых параметров. Определены основные параметры механизмов прецизионных перемещений. Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» 28.03.02 «Наноинженерия».