Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы – Николай Харламов

читать книгу Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы автора Николай Харламов
Оценить:
 (текущая оценка книги: 0 из 5) [0 оценок]
Описание книги:

В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении.



Информация о книге:

  • Автор:
  • Название: Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы
  • Жанр: Наука и техника
  • Язык книги: русский
  • Издательство: НИТУ «МИСиС»

Поделиться:

Скачать книгу Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы в fb2, epub, txt (14 форматов) в нашем Интернет-магазине.

Полная версия:

О скачивании, разархивировании, чтении книг можно прочитать здесь.