Игорь Житяев.

Фотонно-стимулированные технологические процессы микро– и нанотехнологии



скачать книгу бесплатно

При рекристаллизации такой структуры непрерывным сканирующим излучением аргонового лазера боковому росту монокристалла способствует более мягкие режимы тепловой обработки и наличие протяженного температурного поля. Это приводит к снижению дефектности рекристаллизованного слоя. Генерация дефектов во многом зависит от степени перекрытия лазерных лучей. Установлено, что при оптимальном режиме степень перекрытия должна быть более 40 %.

Использование метода с непрерывным сканирующим лазерным излучением позволило получить полосы монокристаллического кремния на слое SiO2 с размерами 100?10000 мкм. При этом в рекристаллизованном слое не обнаружена мозаичная структура, отсутствовали дефекты упаковки, двойники. Подвижность носителей заряда в этих слоях достигала 740 см2/В·с.

Недостатком процесса бокового эпитаксиального роста является достаточно узкий интервал значений мощности лазерного излучения, при котором наблюдается эпитаксиальный рост монокристаллического кремния без деградации слоя ПКК, лежащего на SiO2. Это связано с тем, что после расплавления всего слоя ПКК условия теплоотвода в окнах SiO2, где слой ПКК лежит на монокристаллической подложке кремния и на поверхности SiO2, различны. Поэтому с увеличением мощности лазерного излучения слой ПКК, лежащего на поверхности SiO2, деградирует с образованием отдельных капель кремния [3].

2.3. Лазерная кристаллизация поликремниевых лент

Известно, что при обычной технологии получения кремниевых пластин теряется до двух третей исходного материала. При выращивании кремниевых лент потери кремния значительно ниже, что удешевляет стоимость подложек. Технологический процесс получения кремниевых лент включает в себя химическое осаждение из паровой фазы кремния на временную подложку, после отделения полученного слоя, подложка может быть вновь использована. Этим методом получают кремниевые подложки толщиной до 100-150 мкм.

Конец ознакомительного фрагмента.

Текст предоставлен ООО «ЛитРес».

Прочитайте эту книгу целиком, купив полную легальную версию на ЛитРес.

Безопасно оплатить книгу можно банковской картой Visa, MasterCard, Maestro, со счета мобильного телефона, с платежного терминала, в салоне МТС или Связной, через PayPal, WebMoney, Яндекс.Деньги, QIWI Кошелек, бонусными картами или другим удобным Вам способом.

Здесь представлен ознакомительный фрагмент книги.
Для бесплатного чтения открыта только часть текста (ограничение правообладателя). Если книга вам понравилась, полный текст можно получить на сайте нашего партнера.

Купить и скачать книгу в rtf, mobi, fb2, epub, txt (всего 14 форматов)



скачать книгу бесплатно

страницы: 1 2 3