Фотонно-стимулированные технологические процессы микро– и нанотехнологии – Игорь Житяев

бесплатно читать книгу Фотонно-стимулированные технологические процессы микро– и нанотехнологии автора Игорь Житяев
Оценить:
 (текущая оценка книги: 0 из 5) [0 оценок]
Описание книги:

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.

Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».

Информация о книге:

  • Язык книги: русский
  • ISBN: 9785927523955
Отрывок: скачать бесплатно FB2 RTF ePUB PDF

Поделиться:

Читать онлайн:

Скачать книгу Фотонно-стимулированные технологические процессы микро– и нанотехнологии в fb2, epub, txt (14 форматов) в нашем Интернет-магазине.

Полная версия:

О скачивании, разархивировании, чтении книг можно прочитать здесь.